호리바, 광섬유식 비접촉 약액 농도 모니터 CS-900F 출시… 반도체 공정 효율 극대화

셀 유닛 부피 60% 절감으로 공간 효율 확보… 파장 영역 3배 확대로 대응 약액 종류 확장

호리바 어드밴스드 테크노가 반도체 제조 공정에 최적화된 광섬유식 비접촉형 약액 농도 모니터 CS-900F를 출시했다. 이번 신제품은 1995년부터 이어온 CS 시리즈의 기술력을 계승하면서도 광섬유 방식을 도입해 장치 소형화와 측정 안정성을 동시에 달성한 것이 특징이다.

광섬유 도입을 통한 셀 유닛의 혁신적 소형화

CS-900F의 가장 큰 기술적 변화는 메인 유닛과 셀 유닛을 광섬유 케이블로 연결하는 구조를 채택한 점이다. 기존 모델은 셀 유닛 내부에 분광기가 내장되어 있어 부피가 컸으나, 신제품은 분광기를 장치 외부의 메인 유닛으로 이전 배치했다.

이러한 설계 변경을 통해 실제 약액 배관에 부착되는 셀 유닛의 부피는 기존 장비 대비 약 60% 감소했다. 이는 반도체 제조 장비 내부의 협소한 공간을 효율적으로 활용할 수 있게 하며 설비 설계의 유연성을 높여준다. 또한 내부 레퍼런스 메커니즘을 탑재하여 분광기 이전 배치 후에도 진동과 같은 외부 환경 요인의 영향을 최소화하고 높은 측정 정확도를 유지한다.

측정 가능 약액 확대와 안전한 작업 환경 지원

신제품은 기술적 사양을 강화하여 반도체 공정에서 사용되는 약액 대응력을 높였다. 파장 영역대를 기존 대비 3배로 확대하여 측정 가능한 약액의 종류를 대폭 늘렸다. 80℃에 달하는 고온 약액은 물론이고 질산, 인산, 초산이 혼합된 복잡하고 부식성이 강한 약액도 전처리 과정 없이 직접 측정할 수 있다.

배관 외부에 부착하는 비접촉 측정 방식을 유지함으로써 약액 누출이나 오염 위험을 원천적으로 차단한다. 이는 반도체 세정 공정의 대표적 약액인 SC-1(암모니아-과산화수소 혼합액) 등을 취급하는 현장의 작업 안전성을 높이는 데 기여한다.

CS 시리즈는 반도체 시장의 요구에 맞춰 물리적 크기와 측정 범위를 지속적으로 개선해 왔다. 신제품 CS-900F는 이전 세대인 CS-900과 비교하여 공간 점유율을 획기적으로 낮추었으며, 측정 가능한 파장 범위를 넓혀 범용성을 확보했다.