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반도체 공정을 위한 SEMI 표준 프로토콜 SECS의 이해

반도체 공정을 위한 SEMI 표준 프로토콜 SECS의 이해

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생산현장에서 SECS 프로토콜을 이용한 장비와 호스트간의 통신이 가능해 지면서 장비는 제조공정 수행을 위해 호스트로부터 작업지시를 받거나 장비의 가동 상태나 공정조건 등의 파라메터 데이터를 호스트로 전송하여 분석 활용할 수 있도록 하는 등 생산자원의 중앙집중 관리가 가능해 졌다.