에이멕(Advanced Micro-Fabrication Equipment: AMEC)이 UV LED 제조용 유기 금속 화학증착(MOCVD) 설비 Prismo HiT3™를 출시했다. 이 설비는 섭씨 1400도까지 공정 진행이 가능하며 질화알루미늄(AlN)과 기타 알루미늄을 함유한 다양한 물질들을 높은 박막 균일성과 낮은 결함으로 증착시킨다.
다양한 자동화 기능들을 활용하여 파티클 발생을 최소화하는 이 설비는 평균 정비 간 시간 뿐 아니라 설비 가동률 등 생산성도 개선할 수 있다. 공정 1회에 2인치 웨이퍼 18매를 진행할 수 있으며4인치 웨이퍼도 대응 가능하다.
UV 광원은 박테리아와 바이러스의 DNA를 파괴하여 재생 능력을 상실시킴으로써 오랫동안 산업계 및 일반 소비자 용으로 살균, 소독, 방역에 사용되어 왔는데 최근에 사스(SARS), 메르스(MERS)를 비롯해 코로나바이러스 등으로 인해 UV LED 제품에 대한 수요가 크게 증가하는 추세이다.
Prismo HiT3™ 설비의 첫 고객사인 Jason 반도체는 이 설비를 사용해 260~280nm의 파장 영역을 가진 최첨단 LED 제품들을 출시함으로써 가정/의료/과학용 시장을 선도하고 있다. 이 회사의 강건(Jian Kang) 회장은 “최근에 첨단 UV LED 제품이 가정과 공공장소에서 살균 목적으로 광범위하게 사용되는 추세”라고 말했다.
이 회사는 “에이멕Prismo HiT3 설비를 확보함으로써 경쟁력 있는 UV LED 제품 출시에 필수적인 유지 비용 절감에 크게 도움을 얻게 되었다. 에이멕은 세계 일류 UV LED공정 능력 확보를 위한 중요한 파트너”라고 언급했다.
이와 관련하여 에이멕 최고운영책임자인 두지유(Zhiyou Du) 박사는 “Prismo HiT3 설비는 다양한 UV LED 제품 생산을 위해 자동화 기능 등 여러 혁신 사양을 갖고 있다”고 설명하며 “UV LED 기술을 계속 발전시키고 인류 보건을 위한 제품을 제공하는 Jason 반도체를 고객사로 확보하고 그 기술 요구를 만족시키며 첨단 UV LED 제품 출시에 기여하고 있는 것을 기쁘게 생각한다.”고 말했다.
에이멕의 식각 장비는 5nm급 Logic 제품 생산, 120단 이상 NAND 제품 생산 등에 활용되고 있으며 MOCVD 설비는 청색광 LED 시장을 선도하고 있다. 식각과 MOCVD 분야에서 1,400대 이상의 설비가 전 세계 약 73개 첨단 공장에서 사용 중이다. 에이멕은 한국에 지사를 운영 중이다.
