반도체 장비안전 국제표준, SEMI S2 한글본 발간

지난 12일 LG디스플레이에서는 질소가스 누출로 인한 인명사고가 발생했다. 장비 안전에 대한 표준 준수와 안전 수칙이 제대로 구축되되고 지켜지지 못하기 때문에 사고로 이어진다는 분석이다. 디스플레이 및 반도체장비에서의 안전표준에 대한 저변 확대가 시급히 필요한 시점이다.

국제반도체장비재료협회(SEMI)가 반도체 생산장비 안전표준인 SEMI S2의 한글번역본을 1월 16일 발간한다고 밝혔다.

반도체 장비는 그 특성에 따른 위험(화학물질, 전리방사선 등) 때문에 작은 실수나 고장으로도 심각한 인명사고를 유발할 수 있기 때문에 반도체 장비는 설계, 제작 단계부터 그 사용에 이르기까지 특별한 안전관리가 필수적이다.

이러한 이유로 SEMI S2, CE, K마크 등 다양한 국제안전표준이 장비 안전성 평가에 사용되고 있는데, 그 중 SEMI S2는 모든 유형의 반도체 장비에 필요한 전반적인 환경, 보건, 안전요건을 정의하고 있어서, 반도체 산업계뿐만 아니라 LED, 평판디스플레이 등의 산업분야에도 널리 상용되고 있다.

SEMI측은 “이러한 SEMI S2는 지금까지 영어 원문이 그대로 사용되고 있어서 한국 사용자들이 장비안전에 대한 전문지식을 습득하는데 어려움과 불편함이 있었다. 이를 해소하기 위해 한국세미에서는 SEMI S2 한글번역본을 발간하고, 또한 안전 전문가 양성을 위한 체계적인 교육을 연내 개최할 계획”이라고 밝혔다.

아이씨엔 오승모 기자 oseam@icnweb.co.kr