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어플라이드 머티어리얼즈, 새로운 플레이북 지원하는 전자빔 계측 시스템 공개

오윤경 기자 -
어플라이드 ‘PROVision 3E (프로비전 3E) 시스템’은 빠른 이미징 스피드를 활용한 웨이퍼 레벨의 대규모 실 패턴 디바이스 계측 및 레이어 투과 이미징 측정을 기반으로 패터닝 제어를 위한 플레이북을 지원한다.

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