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    아이씨엔매거진
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    베리티SEM 10 전자빔 계측 시스템, 어플라이드 머티어리얼즈의 야심작

    오승모 기자 -
    어플라이드 머티어리얼즈의 베리티 SEM 10은 GAA 칩의 여러 애플리케이션 가운데 트랜지스터 성능의 핵심인 선택적 에피택시 공정을 계측 및 식별하는데 사용된다.

    어플라이드 머티어리얼즈, 새로운 플레이북 지원하는 전자빔 계측 시스템 공개

    오윤경 기자 -
    어플라이드 ‘PROVision 3E (프로비전 3E) 시스템’은 빠른 이미징 스피드를 활용한 웨이퍼 레벨의 대규모 실 패턴 디바이스 계측 및 레이어 투과 이미징 측정을 기반으로 패터닝 제어를 위한 플레이북을 지원한다.

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