[세미콘코리아] 인테그리스, 한국기술센터에 반도체 공정용 케미컬 필터 R&D 및 분석 시설 확장

새롭게 확장된 역량으로 최적화된 케미칼 필터 솔루션 제공

최첨단 제조 환경 수율 개선 재료 및 솔루션 분야 선도업체인 인테그리스(Entegris, Inc.)는 케미컬 필터/정제 분석 및 연구개발 시설을 국내 수원에 소재한 한국기술센터(KTC)에 확장한다고 밝혔다. 기존 KTC에 추가 확장된 연구소에서는 필터 테스트 장치를 사용하여 케미컬 및 용액의 분석 및 재료 특성 분석이 가능하다.

인테그리스는 첨단 반도체 응용 분야 대부분에 케미칼 필터 및 정제 기술을 제공하는 선도업체이다.

클린트 해리스(Clint Harris) 인테그리스 케미컬 미세오염 제어부문 부사장은 기술 노드가 향상됨에 따라 복잡한 공정 케미칼과 필터 장치 간 상호 작용 및 호환성에 대한 수준 높은 분석이 점점 더 중요해지고 있다고 밝혔다. 그는 ”고객 가까이에서 이러한 기술에 대한 투자를 지속하여, 고객이 필요로 하는 케미컬에서의 필터 특성을 최적화하는데 노력을 계속할 것”이라며, ”KTC 케미컬 필터 연구소 확장으로 한국 고객과의 공동 연구 및 분석 역량이 향상”될 것을 기대한다고 말했다.

케미컬 필터 R&D 및 분석 시설 확장과 더불어, 인테그리스의 KTC 또한 습식 및 건식 화학 분야 개발, 화학 제제 및 파일럿 스케일업(Scale-up), 실시간 보고식 현장 계측, 미세 오염 및 액체 필터 특성화를 제공한다.

한편, 세미콘 코리아에서 인터그리스 부스(D홀 5612호)를 확인할 수 있다. 세미콘 코리아는 1월 27일부터 29일까지 서울 코엑스에서 열린다.

아이씨엔 오윤경 기자 news@icnweb.co.kr