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    Tag: 리소그래피

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    베리티SEM 10 전자빔 계측 시스템, 어플라이드 머티어리얼즈의 야심작

    오승모 기자 -
    어플라이드 머티어리얼즈의 베리티 SEM 10은 GAA 칩의 여러 애플리케이션 가운데 트랜지스터 성능의 핵심인 선택적 에피택시 공정을 계측 및 식별하는데 사용된다.

    EV Group, 대만 ITRI와 이종 집적 프로세스 개발 협력 확대

    우청 기자 -
    EV Group은 대만의 세계적 응용 기술 연구소 중 하나인 ITRI와 첨단 이종 집적 기술 개발을 위한 협력을 확대한다

    EV 그룹, 3D 이종집적화 지원 EVG40 NT2 자동 계측 시스템 발표

    오승모 기자 -
    MEMS, 나노 기술, 반도체 제조용 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비의 선도적 공급사인 EV 그룹(이하 EVG)이 EVG®40 NT2 자동 계측 시스템을 발표했다.

    기가포톤, 미세 어블레이션 비아 가공용 300W KrF 레이저 ‘G300K’ 출하

    오윤경 기자 -

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