램리서치 센스아이 플랫폼, 플라즈마 식각 센서 신기술 구현

램리서치, 새로운 센스아이(Sense.i) 플랫폼으로 업계 최고의 산출량과 혁신적인 센서 기술 구현

램리서치가 전 세계 반도체 장비 중 식각 공정 분야를 주도하고 있는 키요(Kiyo^®)와 플렉스(Flex^®)에 이어 새로운 차원의 혁신적인 식각 기술 제품인 센스아이(Sense.i™) 플랫폼을 공개했다.

센스아이(Sense.i™) 플랫폼은 램리서치(Lam Research)가 새롭게 출시한 플라즈마 식각 기술을 제공하는 식각 공정 반도체 장비다. 램리서치의 센스아이 플랫폼은 반도체 제조사들이 향후 혁신에 필요한 확장성과 고급 기능을 갖출 수 있도록 하기 위해서 개발됐다.

램리서치 센스아이(Sense.i™) 플랫폼은 전 세계 반도체 장비 시장의 대표적인 식각 공정 제품으로 인정받는 키요(Kiyo^®)와 플렉스(Flex^®) 프로세스 모듈에서 발전된 핵심 기술이 구현됐다. 균일도와 식각 프로파일 제어를 지속적으로 향상시키는데 필요한 핵심 식각 성능을 제공해, 반도체 제조의 수율은 최대화하고 웨이퍼 비용도 크게 낮출 수 있게 하는 핵심 기술이다. 무엇보다, 반도체 장비의 크기는 줄어들고 종횡비는 높아지고 있기 때문에 향후 기술변화에 대비할 수 있도록 설계됐다.

램리서치는 기존 식각 장비가 차지하는 반도체 팹 공간을 절반으로 줄이면서 종횡비를 크게 높인 컴팩트한 고밀도 구조와 함께 독보적인 시스템 인텔리전스 기능을 갖추고 있다고 설명했다. 또한 “최고의 생산성을 구현하는 공정 성능으로 향후 10년간 로직 및 메모리 소자의 성장 로드맵을 지원할 수 있을 것으로 기대된다”고 밝혔다.

센스아이(Sense.i™)에는 램리서치의 장비 인텔리전스(Equipment Intelligence®) 기술도 탑재됐다. 식각 장비 스스로가 자가 인식이 가능해 반도체 제조사들이 데이터를 모으고 분석해 패턴과 경향을 확인할 수 있을 뿐 아니라, 개선 조치를 특정할 수 있다. 또한, 센스아이(Sense.i™)는 자율 캘리브레이션 및 유지보수 기능을 갖추고 있어 비가동 시간과 인건비를 동시에 줄일 수 있다. 머신 러닝 알고리즘을 통해서는 툴을 자가 조정해 공정 변화를 최소화하고, 웨이퍼 산출량을 극대화할 수 있는 효과도 거둘 수 있다.

램리서치에서 식각 장비 부문을 총괄하는 바히드 바헤디((Vahid Vahedi) 수석 부사장(SVP)은 램리서치는 지난 20년에 걸쳐 개발된 가장 혁신적인 식각 제품을 도입할 예정이라고 강조했다. 그는 “센스아이(Sense.i™)는 램리서치 기술 로드맵을 확장해 고객의 차세대 요건을 충족할 뿐 아니라 고객의 비용 조정 문제를 해결할 수 있다”고 말했다.