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[스터디 노트 02] 반도체 장비 개발자가 반드시 알아야 할 SECS 표준(2)

아이씨엔 - 12/02/2023

SECS 표준에는 반도체 장비와 시스템 간의 효과적인 통신 및 데이터 교환에 중요한 몇 가지 핵심 구성 요소가 포함된다.

반도체 공정을 위한 SEMI 표준 프로토콜 SECS의 이해

오승모 기자 - 16/09/2015

생산현장에서 SECS 프로토콜을 이용한 장비와 호스트간의 통신이 가능해 지면서 장비는 제조공정 수행을 위해 호스트로부터 작업지시를 받거나 장비의 가동 상태나 공정조건 등의 파라메터 데이터를 호스트로 전송하여 분석 활용할 수 있도록 하는 등 생산자원의 중앙집중 관리가 가능해 졌다.