2024년 11월 22일
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아이씨엔매거진
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반도체 공정을 위한 SEMI 표준 프로토콜 SECS의 이해

오승모 기자 -
생산현장에서 SECS 프로토콜을 이용한 장비와 호스트간의 통신이 가능해 지면서 장비는 제조공정 수행을 위해 호스트로부터 작업지시를 받거나 장비의 가동 상태나 공정조건 등의 파라메터 데이터를 호스트로 전송하여 분석 활용할 수 있도록 하는 등 생산자원의 중앙집중 관리가 가능해 졌다.

SEMI 규격에 대응한 국내 반도체 장비 표준화 추진이 시급

오윤경 기자 -

반도체 장비 개발, 통신 기술 표준을 먼저 이해하자

오승모 기자 -
반도체 장비 개발에서 왜 통신 기술에 대한 표준을 이해해야 하는지, 그리고 반도체 장비 통신 표준에는 어떠한 것들이 담겨있고 각 통식 표준 규격들은 어떻게 구별되는지 개념의 이해 차원에서 알아보고자 한다.

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