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베리티SEM 10 전자빔 계측 시스템, 어플라이드 머티어리얼즈의 야심작

오승모 기자 -
어플라이드 머티어리얼즈의 베리티 SEM 10은 GAA 칩의 여러 애플리케이션 가운데 트랜지스터 성능의 핵심인 선택적 에피택시 공정을 계측 및 식별하는데 사용된다.

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