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    ACM 리서치, 울트라 Fn 퍼니스 장비로 전력 반도체 업계 지원

    우청 기자 -
    합금 어닐링 기능을 지원하는 울트라 Fn 퍼니스 장비는 불활성 가스와 환원성 가스 환경에서, 또는 마이크로-Torr 수준까지의 고진공 조건에서 어닐링 공정을 수행할 수 있다.

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