1억달러 투자 계획에 이어 국내법인 화성 제2제조연구혁신센터 기공식 개최
ASM은 반도체 전공정장비에서 필수적인 원자층증착(ALD; Atomic Layer Deposition) 장비 분야에서 세계 1위의 글로벌 반도체 장비업체로, ALD 뿐만 아니라 에피택시(Epitaxy), 플라즈마화학증착(PECVD; plasma enhanced ALD) 장비에서도 세계 선도적인 업체로 알려졌다.
ALD는 원자층을 한겹씩 쌓아 올리는 기술로 기존 기법 대비 두께를 나노미터로 얇게 만들고 박막 도포성도 극복했다. 에피택시는 고도로 제어된 실리콘 기반 결정질 필름을 증착하는 공정으로 첨단 트랜지스터 및 메모리 생성, 웨이퍼 제조를 위한 중요한 공정 기술이다. 특히 ALD는 도포되는 막의 얇은 두께와 고른 도포에 따른 신뢰성이 높아 CVD나 PVD와 같은 다른 도포 방식 증착장비에 비해 선호받고 있다.
특히 반도체 증착기술이 30나노(nm)로 들어서면서 ALD에 대한 선호도가 급증했다. 이는 도포되는 전연막의 두께를 1나노(nm) 이하로 수행해야 하는데, CVD나 PVD 방식은 막 두께의 미세 조정이 어렵다는 것. 박막 두께의 조정 측면에서 CVD, PVD가 아날로그 방식이라면, ALD는 디지털 방식이라고 쉽게 설명할 수 있다. ALD 기술은 국내에서 반도체에 적용을 시작했으며, 반도체 제조 업체 중에서는 국내의 삼성전자와 SK하이닉스가 가장 앞서나가고 있는 분야다.
ASM은 1968년 네덜란드에서 설립해 50년 이상의 혁신 기술을 통해 반도체 장비 분야에서 글로벌 기술력을 자랑하고 있으며, 삼성전자, SK하이닉스를 비롯한 글로벌 반도체 기업들 대부분이 ASM이 제공하는 장비를 사용하고 있다. 지난해 2022년 총 24억 유로(약 3조 5천억원)의 매출을 달성했으며, 반도체 제조 고객들을 지원하기 위해 최첨단 반도체장비, 공정 솔루션 및 서비스 개발을 통해 반도체 기술 혁신을 지원하고 있다.
글로벌 반도체 시장 노광장비 선도기업으로 우리에게도 잘 알려진 ASML의 모태가 된 기업이 ASM이기도 하다.
ASM은 이미 1989년부터 국내에서 사업을 운영해 오고 있으며, 1995년부터 한국지사 성격의 에이에스엠케이㈜를 설립하고 한국을 ASM의 핵심 글로벌 기술 개발 및 제조 지역으로 성장시켜 왔다. 특히 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비에 있어서는 국내 사업장에서 유일하게 연구개발 및 제조를 수행하면서, 글로벌 기술 센터의 역할을 톡톡히 해내고 있다.
이러한 ASM이 최근들어 국내 시장에 대한 투자와 행보가 매우 분주해졌다. 지난 2월에는 국내 법인인 에이에스엠케이가 소재한 화성시에서 산업통상자원부 및 경기도와 MOU를 체결하며 1억 달러(약 1,325억원)의 투자를 발표했으며, 5월 24일에는 기존 화성 동탄에 소재한 연구개발제조센터 바로옆에 제2 제조연구혁신센터 기공식을 가졌다.
이러한 움직임은 글로벌 반도체 시장에 대한 미래 비전에서 비롯된 것으로 풀이된다. 현재 글로벌 반도체 시장은 러시아-우크라이나 전쟁과 미중 무역갈등으로 인해 공급망이 무너지고, 비즈니스의 활성화가 어려운 상황으로 반도체 경기도 다소 침체하고 있지만, 성장력과 시장 잠재력은 곧바로 성장곡선을 그려 나갈 것이라는 분석에 따른 것이다.
실제로 지난 5월 23일 국내에서 처음 진행된 ASM 기자간담회에서 벤자민 로(Benjamin Loh) CEO는 적극적인 의견과 함께 국내 시장에서의 반도체 산업에 대한 비전을 제시했다.
벤자민 로 CEO는 “2025년 완공 예정인 제2 연구혁신센터는 글로벌 첨단 반도체 수요 증가에 대응하기 위한 ASM의 중요한 확장 전략의 출발점”이라며, 한국내에서 연구 및 제품 개발 인프라를 강화하고 생산 역량을 더욱 향상시켜 나갈 것이라고 밝혔다. 또한, ASM은 이번 투자를 통해 지역 일자리 창출을 기대하고 있으며 엔지니어링, 연구 개발 및 제조 분야에서의 국내 인재 양성과 인력 개발은 물론 사회공헌에도 앞장서 나갈 것이라고 전했다.
그는 또한 “이번 투자는 단순히 시설을 확장하는 것 이상의 의미가 있다”며, “한국에 대한 ASM의 약속 뿐 아니라 이곳에서 ASM의 사업을 꾸준히 성장시키고자 하는 포부가 담겨있다. 한국에서 지속적으로 첨단 기술을 개발하여, 세계적 수준의 반도체 혁신을 이끌 수 있도록 계속해서 지원해 나갈 것”이라고도 말했다.
화성 연구혁신센터 기공식에 참석했던 김동연 경기도지사는 “시설이 완공되는 2025년엔 수백 개의 첨단 신산업 일자리가 창출되고, 화성에선 반도체 연구·개발부터 제조·생산까지 동시에 진행할 수 있게 된다.”며, “‘ASM’은 ‘혁신’이 글로벌 경쟁력임을 표방하는 네덜란드 기업으로 우리나라에서 최초로 개발한 반도체 증착장비 기술을 상용화했고 그 기술로 도내 기업들과 협업해 경기도 반도체 부품 국산화 비율을 70%까지 끌어올렸다”고 밝혔다.
ASM이 국내에서 개발하고 제조하는 PEALD 장비는 국내에서 원천기술을 가지고 있었다. KAIST에서 처음 장비 개발 기술을 확보했으며, 이를 국내 벤처기업 지니텍에서 2001년 PEALD 장비를 상용화하는데 성공했다. 2002년 지니텍으로부터 PEALD 장비를 구매했던 ASM은 PEALD의 글로벌 시장성과 지니텍의 기술력을 확신하고, 2004년 220억원에 지니텍을 인수해 국내에서 PEALD 글로벌 센터의 역할을 맡겨왔다.
ASM의 국내 R&D팀이 개발한 기술은 원자층증착(ALD) 쿼드 챔버 모듈(QCM) 아키텍쳐, TENZA™ ALD(초고비율, >100:1)로 구성된 갭 필 기술, 스페이서, 라이너 및 기타 패터링 응용에 사용되는 고품질 PEALD 실리콘 및 금속 산화물 및 질화물과 같은 반도체 산업의 혁신을 이끌고 있다는 설명이다. 벤자민 로 CEO는 “원자층증착(ALD) 갭 필 기술과 같이 ASM 한국 R&D팀에서 개발한 기술은 전 세계에서 가장 발전된 반도체 제조에 필수적”인 기술이라고 밝혔다.
그는 이와 함께 국내 연구개발 인력에 대한 무한한 신뢰를 확인하고 있다면서, “향후 PEALD를 비롯한 주요 장비들에 대한 한국내에서의 수요가 급증할 것에 대비해 시설 확충에 나서게 된 것”이라고 설명했다. 또한 최근 불거지고 있는 미국과 중국간의 반도체 분쟁을 고려한 투자는 아니라고 선을 그었다. 글로벌 반도체 시장에 대한 긍정적인 전망이 한국에서의 투자 확대로 이어진 것 뿐이라고 말했다.
한편, 현재 ASM 화성 연구개발제조센터에는 460명 이상의 직원이 근무하고 있으며, 시설이 확장됨에 따라 그 수는 점차 늘어날 예정이다. 기존 센터의 규모는 약 20,000m2에 달하며, 화성 제2제조연구혁신센터가 완공되면 8개 층에 걸친 31,000m2의 공간이 추가된다. 이번 증설로 ASM 화성 시설의 연구개발 공간은 두 배 이상으로, 제조 공간은 세 배 가까이 확장될 예정이라고 회사측은 설명했다.
ASM은 지난해 이탈리아 실리콘 전문업체 LPE에 대한 인수합병을 완료하고, 자동차에 대한 전기화 추세와 함께 전기차 및 2차 전지 배터리 시장에서 이슈로 부상하고 있는 실리콘 및 실리콘 카바이드(SiC) 분야에 대한 투자에도 본격 행보를 시작했다. 벤자민 로 ASM CEO는 “실리콘 카바이드(SiC) 에피택시(Epitaxy) 설비 개발에 적극 나서고 있으며, 이미 한국, 미국, 중국을 비롯한 다양한 지역에서 설비 도입에 대한 관심이 집중되고 있다.”며, “실리콘 카바이드 에피택시에 대한 추가 제조 설비를 아시아 지역(싱가포르)으로 확장하는 것을 추진하고 있다”고 밝혔다.
