반도체 특수화학물질 및 첨단 소재 솔루션 선도업체인 인테그리스(www.entegris.com)는 30개의 국내외 유수의 전자소재, 디스플레이 및 반도체 업체에서 생산, 품질, 연구 등 유관 부서의 핵심 관계자들이 약 100명이 참석한 가운데 디바이스 성능개선, 수율향상 및 비용절감에 관련된 ‘클린 케미컬 딜리버리 컨퍼런스 2018’을 개최했다고 밝혔다.
이번 행사는 종합반도체업체(IDM: Integrated Device Manufacturer)의 점차 강화되는 고순도 케미컬에 대한 요구를 충족시키기 위해 개최됐으며, 케미컬 제조 및 운송 중 발생할 수 있는 파티클 및 메탈 불순물과 같은 오염원과 이를 제거할 수 있는 솔루션을 제시했다. 또한 관련 업체들과 이를 최적화할 수 있는 협업 방안에 대한 논의도 이어졌다.
특히 이번 행사에서는 반도체 전문 애널리스트를 초청해 4차 산업혁명으로 인한 데이터센터 확장, 인공지능(AI), 사물인터넷(IoT) 등으로 확대되는 국내 반도체 산업의 트렌드를 소개하였고, 인테그리스는 이와 관련하여 IDM 고객들이 요구하는 케미컬 사양을 맞추기 위한 클린 케미컬 딜리버리 솔루션을 제안했다. 구체적으로는 케미컬 제조시 발생하는 파티클, 메탈, 유기오염물과 운송 중 발생하는 오염물을 제어하는 솔루션과 IDM 고객들이 액상 제품 사용 시 잔량을 최소화할 수 있는 솔루션을 공유했다.
인테그리스의 클린 케미컬 딜리버리 솔루션에 대한 추가 정보는 www.entegris.com/ccd에서 확인 할 수 있다.
오윤경 기자 news@icnweb.co.kr
