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AKT, 세계 최초 8.5세대 LCD 장비 3종 발표

세계 1위 TFT LCD 장비 업체 AKT는 10월 18일 8.5세대 LCD 장비 3종 개발에 성공했다고 일본 요코하마에서 개최된 `평판정보디스플레이 컨퍼런스 2006 (FPD 2006)’에서 밝혔다.

이번에 AKT에서 발표한 8.5세대 TFT LCD 장비는 TFT 검사장비(Array Tester)인 AKT-55K EBT, 플라즈마 화학증착장비(PECVD)인 AKT-55K PECVD*, 성막장비(Sputter)인 AKT- NEW ARISTO™ 2200의 3가지 종류이다.

8.5세대 장비에 쓰이는 LCD 기판은 1장당 6장의 LCD용 55인치 평판 TV 스크린을 생산할 수 있다. 시장 조사 기관인 디스플레이서치(Display Search)에 따르면 새로 출시된 8.5세대 패널의 출시로 2006년에는 LCD TV의 시장이 4천만대 이상 증가할 것으로 예측하고 있다.

이번에 새롭게 발표된 AKT-55K EBT 시스템은 7개의 전자빔을 사용하여 빠르고 정확한 테스트가 가능하며 패널의 직접적 접촉이 없어 고가의 LCD TV패널이 손상되지 않고 안전하게 테스트할 수 있다.

AKT-55K PECVD 시스템은 부전도체 필름(SiNx, SiOx, SiON)과 반도체 필름(a-Si, doped a-Si)에 모두 최적격으로 제작되어 시간당 60개의 기판을 처리할 수 있다. (단층 필름 증착 기준)

AKT-NEW ARISTO 2200은 전자동 수직 스퍼터(Sputter) 시스템으로. 최근 인수한 어플라이드 필름(Applied Films)사의 NEW ARISTO 시스템을 응용한 AKT-NEW ARISTO 2200은 2차 평면 음극 디자인을 이용하여 업계 최저의 불량률과 최대 생산성을 자랑한다.

AKT사의 부사장인 마크 핀토(Mark Pinto) 박사는 “AKT사는 화학증착장비(PECVD)부터 TFT 검사장비(E-beam Array tester) 그리고 이번에 출시된 스퍼터 장비(Sputter)까지 TFT LCD장비 업계를 선도해왔다”고 말하고, “앞으로도 패널 제조회사들이 제조 비용 절감과 높은 품질 유지를 위한 신기술 개발에 힘쓸 것”이라고 밝혔다.

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